微機電系統 (MEMS) 檢測

微機電系統檢測 (MEMS) 允許將如陀螺儀和加速度計的設備納入矽晶元件中。因為 MEMS 技術結構是如此地小巧精緻,它們依賴於完整的密封接合,以避免髒污並確保可靠的操作。生產環境中 MEMS 應用的非破壞性測試 (NDT),依賴每個元件上每個關鍵鍵合環的清晰成像。例如,在汽車安全氣囊應用程序中,必須 100% MEMS 檢測以遵守安全法規。在體感智慧型手機應用中,100% MEMS 檢測有助於避免保固費用並確保客戶滿意度。在最具挑戰的 MEMS 應用中,Sonix 晶圓檢測系統提供 100% 所需的影像品質和生產率。

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